a.将需要淬火的工件进行酸洗,清洗和干燥处理,确保工件和料筐表面无污物和水份。b.检查水,电,气是否畅通,水压,超温,过流等报警装置及联锁保护应完好。c.检查炉门的绝缘电阻应大于22k?,炉门密封完好。d.调整好气冷压强:将电接真空压力表的上限调至工艺要求的范围。动机械泵,打开旁路阀,观察罗茨泵轴不转后,再启动罗茨泵,开主路阀。2.2当真空度10mpa后,启动扩散泵,停罗茨泵。1小时后关闭旁路阀,selec中国-selec定制-seleca.将需要淬火的工件进行酸洗,清洗和干燥处理,确保工件和料筐表面无污物和水份。b.检查水,电,气是否畅通,水压,超温,过流等报警装置及联锁保护应完好。c.检查炉门的绝缘电阻应大于22k?,炉门密封完好。d.调整好气冷压强:将电接真空压力表的上限调至工艺要求的范围。动机械泵,打开旁路阀,观察罗茨泵轴不转后,再启动罗茨泵,开主路阀。2.2当真空度10mpa后,启动扩散泵,停罗茨泵。1小时后关闭旁路阀,selec中国-selec定制-seleca.将需要淬火的工件进行酸洗,清洗和干燥处理,确保工件和料筐表面无污物和水份。b.检查水,电,气是否畅通,水压,超温,过流等报警装置及联锁保护应完好。c.检查炉门的绝缘电阻应大于22k?,炉门密封完好。d.调整好气冷压强:将电接真空压力表的上限调至工艺要求的范围。动机械泵,打开旁路阀,观察罗茨泵轴不转后,再启动罗茨泵,开主路阀。2.2当真空度10mpa后,启动扩散泵,停罗茨泵。1小时后关闭旁路阀,a.将需要淬火的工件进行酸洗,清洗和干燥处理,确保工件和料筐表面无污物和水份。b.检查水,电,气是否畅通,水压,超温,过流等报警装置及联锁保护应完好。c.检查炉门的绝缘电阻应大于22k?,炉门密封完好。d.调整好气冷压强:将电接真空压力表的上限调至工艺要求的范围。动机械泵,打开旁路阀,观察罗茨泵轴不转后,再启动罗茨泵,开主路阀。2.2当真空度10mpa后,启动扩散泵,停罗茨泵。1小时后关闭旁路阀,a.将需要淬火的工件进行酸洗,清洗和干燥处理,确保工件和料筐表面无污物和水份。b.检查水,电,气是否畅通,水压,超温,过流等报警装置及联锁保护应完好。c.检查炉门的绝缘电阻应大于22k?,炉门密封完好。d.调整好气冷压强:将电接真空压力表的上限调至工艺要求的范围。动机械泵,打开旁路阀,观察罗茨泵轴不转后,再启动罗茨泵,开主路阀。2.2当真空度10mpa后,启动扩散泵,停罗茨泵。1小时后关闭旁路阀,a.将需要淬火的工件进行酸洗,清洗和干燥处理,确保工件和料筐表面无污物和水份。b.检查水,电,气是否畅通,水压,超温,过流等报警装置及联锁保护应完好。c.检查炉门的绝缘电阻应大于22k?,炉门密封完好。d.调整好气冷压强:将电接真空压力表的上限调至工艺要求的范围。动机械泵,打开旁路阀,观察罗茨泵轴不转后,再启动罗茨泵,开主路阀。2.2当真空度10mpa后,启动扩散泵,停罗茨泵。1小时后关闭旁路阀,